高端光學(xué)系統(tǒng)的研制需要高精度檢測(cè)技術(shù)，高精度的檢測(cè)技術(shù)支撐著光學(xué)系統(tǒng)的確定性制造和集成，以及光學(xué)系統(tǒng)仿真技術(shù)。目前行業(yè)公認(rèn)的準(zhǔn)則就是沒有檢測(cè)就沒有控制，更沒有確定性加工。
目前行業(yè)內(nèi)的面型檢測(cè)干涉儀產(chǎn)品，主要是Nikon，Zeiss，和Zygo三個(gè)品牌。
干涉儀的工作原理都是利用準(zhǔn)直光線照射標(biāo)準(zhǔn)參考面（平面，球面，非球面）和被測(cè)面（平面，球面，非球面）利用兩束反射光的干涉成像進(jìn)行檢測(cè)。
本文以Zygo的激光干涉儀為例說明面型檢測(cè)報(bào)告中的核心干貨。
啟動(dòng)干涉儀的 MetroPro軟件，設(shè)置好測(cè)試程序（如顯示剖面線，3D模型，PSD，澤尼克系數(shù)等）后就可以啟動(dòng)檢測(cè)，檢測(cè)報(bào)告頁(yè)面包含的信息有以下幾個(gè)方面：
01 PV數(shù)據(jù)
PV值代表被檢測(cè)表面上的最高點(diǎn)和最低點(diǎn)之間的高度差。RMS為檢測(cè)區(qū)域內(nèi)N個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的平方和除以N以后的開方值，稱為均方根。此元件被測(cè)面的PV值為62.32nm，rms值為8.295nm。
02 3D模型
MetroPro軟件可以利用被測(cè)面的采樣數(shù)據(jù)點(diǎn)轉(zhuǎn)坐標(biāo)，生成3D模型，直觀的表現(xiàn)出面型的凹凸特性。紅色為高點(diǎn)，藍(lán)色為低點(diǎn)。
03 PVr數(shù)據(jù)
由于干涉儀中使用的探測(cè)器的空間分辨率不同，噪聲、鬼像條紋和亮點(diǎn)都會(huì)對(duì)它產(chǎn)生影響，僅用相機(jī)上的兩個(gè)點(diǎn)（峰谷）來表達(dá)測(cè)量結(jié)果可能不是很精確。PVr是一個(gè)新提出的穩(wěn)健振幅參數(shù)，它的計(jì)算方法是36階Zernike擬合的PV值+ 3倍殘差的均方根值。此元件按照PVr參數(shù)計(jì)算的數(shù)值為45.98+3*2.97=54.9nm。
04 XY軸剖面曲線圖
在第一部分的PV數(shù)據(jù)圖中，被檢測(cè)面的X和Y坐標(biāo)軸的剖面數(shù)值曲線顯示在此圖中，綠色線表示X軸，藍(lán)色線表示Y軸。
05 干涉條紋圖
這個(gè)干涉條紋就是被測(cè)面和基準(zhǔn)面的干涉條紋圖像，理想的干涉條紋應(yīng)該是等間距且平行，條紋的偏轉(zhuǎn)情況代表著被測(cè)面與基準(zhǔn)面的凹凸關(guān)系。
久晶光電銷售的光學(xué)元件在入庫(kù)前，都會(huì)使用干涉儀檢查元件工作面是否符合面型規(guī)格要求。普通光學(xué)元件工作面面型精度不低于λ/4，高精度產(chǎn)品的工作面面型精度不低于λ/10，如遇到相關(guān)問題，歡迎咨詢！